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机械知识

西安奕材新专利:智能机械手帮力晶圆从动校准

作者:U乐国际·(中国)官方网站 发布时间:2026-02-22 12:46

  近日,西安奕材(688783)正在科技立异范畴再传佳讯,获得了发现专利授权,专利名为“一种机械手、机械手从动校准安拆及方式”,该专利的申请号为CN3。1,授权日期为2026年2月17日。这项专利的推出,也为整个半导体行业的从动化程度提拔供给了无力支撑。

  跟着智能制制的逐渐普及,机械手的从动校准安拆将为出产线的矫捷性和效率供给新的处理方案。正在出产过程中,从动校准可以或许兼容分歧晶圆盒的差别,避免机械手的示教误差,从而显著提拔全体出产效率和产质量量。

  该机械手的焦点设想正在于其承载从体,具体而言,承载从体由基部、第一臂部和第二臂部形成,可以或许矫捷承载晶圆。机械手的挪动组件则担任挪动承载从体,确保晶圆的精准定位。而器的设置则极为环节,它由位于第一臂部的发射端和位于第二臂部的领受端构成,可以或许发射光束并按照晶圆的遮挡环境生成响应的信号。这种从动校准的功能,可以或许无效降低因设备误操做导致的晶圆毁伤风险,确保出产的高效性和平安性。

  正在当前半导体行业日益激烈的合作中,西安奕材通过这项新专利展示了其正在研发方面的深挚实力。本年以来,西安奕材已获得11项专利授权,显示出其正在手艺立异上的持续投入取。按照2025年中据显示,公司上半年正在研发方面的投入达到了1。28亿元,虽然同比略有削减。

  正在将来,跟着科技的不竭前进,西安奕材的这项专利手艺无望引领行业成长潮水,为更多企业正在智能制制范畴供给自创取。能够预见,跟着从动化设备的普及,半导体行业的出产效率将会送来新的飞跃,鞭策整个行业向更高的手艺程度迈进。前往搜狐,查看更多!



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